0515-83835888
Maison / Produits / Fabrication professionnelle d'équipement de revêtement d'ions sous vide PVD / Ligne de production de revêtement de pulvérisation de magnétron

Ligne de production de revêtement de pulvérisation de magnétron

Présentation de la ligne de production du revêtement de pulvérisation de magnétrage continu

Le revêtement de pulvérisation de magnétron continu est une technologie de dépôt avancé à couches minces qui utilise un champ magnétique pour contrôler la trajectoire de mouvement des faisceaux d'ions dans un environnement à basse pression, atteignant une adhérence de la pulvérisation à la surface du matériau, formant ainsi une couche de film mince uniforme, dense et bien adhérée sur le substrat. Cette technologie peut non seulement améliorer la dureté, la résistance à l'usure et la résistance à la corrosion des matériaux, mais aussi modifier leur optique,
Propriétés électriques et thermiques pour répondre aux besoins de différents champs.

Principe de travail

Le principe de travail du revêtement de pulvérisation de magnétron continu consiste à introduire un champ magnétique à la surface de la cathode cible et à utiliser le champ magnétique pour contraindre les particules chargées pour augmenter la densité du plasma, augmentant ainsi le taux de pulvérisation. Les ions argon sont accélérés par la cathode et bombardent la surface de la cible de la cathode, pulvérisant les atomes de la surface cible et les déposant sur la surface du substrat pour former un film mince. En modifiant les cibles de différents matériaux et en contrôlant différents temps de pulvérisation, des films minces de différents matériaux et épaisseurs peuvent être obtenus.

Avantages techniques

Taux de dépôt élevé: En raison de l'utilisation d'électrodes magnétrons, un très grand courant d'ion de bombardement cible peut être obtenu, ce qui entraîne un taux de gravure à forte pulvérisation sur la surface cible et un taux de dépôt de film élevé sur la surface du substrat.
● Efficacité élevée de puissance: la probabilité de collision entre les électrons à faible énergie et les atomes de gaz est élevée, ce qui entraîne une augmentation significative du taux d'ionisation du gaz. En conséquence, l'impédance du gaz de décharge (ou plasma) est considérablement réduite. Par conséquent, par rapport à la pulvérisation des diodes CC, même si la pression de travail est réduite de 1 à 10 PA à 10-2-10-1pa, la tension de pulvérisation est également réduite de plusieurs milliers de volts à plusieurs centaines de volts, et l'efficacité de la pulvérisation et le taux de dépôt augmentent par des ordres de magnitude.
Braculage à faible énergie: En raison de la faible tension de la cathode appliquée à la cible, le plasma est confiné par le champ magnétique dans l'espace près de la cathode, supprimant ainsi l'incidence des particules chargées à haute énergie d'un côté du substrat. Par conséquent, le degré de dommages causés à des substrats tels que les dispositifs semi-conducteurs par bombardement de particules chargé est inférieur aux autres méthodes de pulvérisation.
Applicabilité des matériaux larges: Tous les métaux, alliages et matériaux en céramique peuvent être transformés en matériaux cibles; Par bafouting de magnétrons de courant direct ou de radiofréquence, de revêtements en métal pur ou en alliage avec des rapports précis et constants, ainsi que des films de réaction en métal avec participation au gaz, peuvent être générés pour répondre aux exigences de films minces divers et de haute précision.

Zone de demande

La technologie de revêtement de pulvérisation magnétron continu est largement utilisée dans les industries de l'électronique et de l'information, telles que les circuits intégrés, le stockage d'informations, les affichages de cristal liquides, la mémoire laser, les dispositifs de contrôle électronique, etc.; Il peut également être appliqué dans le domaine du revêtement en verre; Il peut également être appliqué à des industries telles que les matériaux résistants à l'usure, la résistance à la corrosion à haute température et les produits décoratifs haut de gamme.

Paramètre du produit

La technologie de revêtement de pulvérisation de magnétron continu joue un rôle important dans l'industrie moderne en raison de sa grande efficacité, de son uniformité et de sa contrôlabilité. Avec l'avancement de la technologie, cette technologie continuera de stimuler le développement de nouveaux matériaux et de nouveaux produits, apportant plus d'opportunités d'innovation et de développement à diverses industries.

KOTA Technology Limited Company

À propos de nous

KOTA Technology Limited Company a été créé en 2012, avec un capital enregistré de 10 millions de yuan, est une entreprise nationale de haute technologie.
Basée à Shanghai, en Chine, la société possède un certain nombre de filiales en propriété exclusive et détenue à Nantong, Yancheng et dans d'autres endroits de la province du Jiangsu, et a établi des centres de R&D en Chine et au Japon pour mettre en place le marché mondial. À l'heure actuelle, la société est devenue un nouveau fabricant d'équipements d'énergie à l'énergie bien connue et est une entreprise dans le domaine de l'équipement de papier d'aluminium en cuivre au lithium dans le pays. L'équipe technique de base de la société dirigée par M. Matsuda Mitsuya à Nagoya, au Japon, se concentre sur le développement et l'intégration des équipements de fabrication haut de gamme et du système d'automatisation dans le domaine des équipements électromécaniques de haute précision. Grâce à l'introduction de concepts de technologie de pointe japonaise et de conception et à l'importation de pièces de précision originales du Japon, les différents produits d'équipement produits par la société sont devenus des références de l'industrie.

Honneur

  • honneur
    Certificat de brevet
  • honneur
    Certificat de brevet
  • honneur
    Certificat de brevet
  • honneur
    Certificat de brevet
  • honneur
    Certificat de brevet
  • honneur
    Certificat de brevet
  • honneur
    Certificat de brevet
  • honneur
    Certificat de brevet

Nouvelles

Contactez-nous maintenant

Connaissances de l'industrie

1. Qu'est-ce que le revêtement continu de pulvérisation de magnétron et comment cela fonctionne-t-il?
Ligne de production de revêtement de pulvérisation de magnétron est une technique de dépôt de couches mince avancé et très précise utilisée pour améliorer les propriétés des matériaux. Il fonctionne en introduisant un champ magnétique à la surface d'une cathode cible, guidant le mouvement des ions dans un environnement à basse pression. Il en résulte un processus de pulvérisation où les atomes de la cible sont éjectés en les bombardant des ions argon accélérés et déposés par la suite sur un substrat. Cette couche de film mince peut être personnalisée pour répondre à l'épaisseur et aux spécifications de matériaux requises en variant les temps de pulvérisation et en utilisant différents matériaux cibles.
Chez Hongtian Technology Co., Ltd., nous comprenons l'importance des technologies de fabrication avancées comme le revêtement continu du magnétron dans l'industrie moderne. En tant qu'entreprise spécialisée dans les équipements et solutions électromécaniques de pointe, nous nous engageons à offrir des produits de haute qualité qui tirent parti des dernières technologies. Nos capacités de production avancées comprennent un atelier de production et un entrepôt entièrement équipés, garantissant que nos produits répondent aux normes de qualité et d'efficacité les plus élevées. Notre nouveau parc d'équipement en papier d'aluminium haut de gamme haut de gamme, situé à Yancheng, province du Jiangsu, fait partie de nos efforts continus pour améliorer nos offres technologiques. Cette installation nous permettra d'intégrer davantage les technologies de revêtement avancées, y compris la pulvérisation de magnétron, dans le développement de matériaux de nouvelle génération et d'équipement intelligent pour les industries de l'énergie et de l'électronique.
Le principe de travail de la pulvérisation de magnétron consiste à contrôler le plasma et la densité ionique d'une manière très efficace. Les ions accélérés à partir de la cathode frappent le matériau cible, provoquant leur éjection des atomes cibles puis déposés sur une surface de substrat. L'uniformité et la densité de la couche de film mince formée sont des attributs clés de ce processus, ce qui le rend idéal pour les applications nécessitant des propriétés de matériau cohérentes, telles que la résistance à l'usure, la résistance à la corrosion et les caractéristiques optiques ou électriques améliorées. Cette polyvalence permet d'appliquer des revêtements à un large éventail de substrats, offrant une personnalisation et une précision dans des industries telles que l'électronique, l'automobile et l'énergie.

2. Quels sont les principaux avantages techniques de la pulvérisation du magnétron continu?
L'utilisation d'électrodes magnétrons crée un grand courant de bombardement ionique, conduisant à un processus de pulvérisation accéléré et à des taux de dépôt plus élevés. Ceci est particulièrement bénéfique dans les environnements de production à grande échelle où l'efficacité et la vitesse sont cruciales.
La pulvérisation du magnétron offre une efficacité énergétique élevée. La collision d'électrons à faible énergie avec des atomes de gaz entraîne un taux d'ionisation de gaz plus élevé, ce qui réduit à son tour l'impédance du plasma de décharge. Cette réduction de l'impédance signifie que le processus de pulvérisation fonctionne à des tensions et des pressions inférieures, entraînant une amélioration de l'efficacité et une réduction de la consommation d'énergie. Chez Hongtian Technology Co., Ltd., nous mettons l'accent sur l'efficacité énergétique car il affecte directement les coûts de production et la durabilité. Notre investissement continu dans les installations de fabrication de pointe, tels que notre nouveau parc d'équipement haut de gamme à Jiangsu, nous aide à optimiser davantage la consommation d'énergie et à améliorer les performances de l'équipement que nous fournissons à nos clients du monde entier.
Un autre avantage clé est la bafouillissement de faible énergie, ce qui se traduit par un processus de dépôt plus contrôlé. Le champ magnétique limite le plasma près de la cathode, réduisant le bombardement des particules à haute énergie sur le substrat. Cette caractéristique est particulièrement importante lorsque vous travaillez avec des matériaux sensibles comme les semi-conducteurs, où une exposition aux particules à haute énergie peut causer des dommages. En tant qu'entreprise déterminée à fournir des solutions personnalisées et hautes performances pour des industries allant de l'électronique à l'automobile, Hongtian Technology Co., Ltd. intègre des technologies comme la pulvérisation du magnétron dans nos offres de produits pour nous assurer que nous répondons aux normes de qualité la plus élevée tout en minimisant les risques pour délicater les matériaux.
L'applicabilité des matériaux larges est une autre raison de l'adoption généralisée de la pulvérisation du magnétron continu. Le processus est suffisamment polyvalent pour s'adapter à divers matériaux cibles, y compris les métaux, les alliages et la céramique. Cette flexibilité permet la production de films minces avec des propriétés spécifiques, y compris des revêtements métalliques, des films en alliage et des films de réaction, qui sont cruciaux pour les industries nécessitant des revêtements de haute précision, tels que l'aérospatiale, l'automobile et les télécommunications.

3. Quelles sont les principales applications du revêtement de pulvérisation de magnétron continu?
Les applications du revêtement continu de pulvérisation du magnétron sont vastes et diverses, couvrant dans plusieurs industries. L'un des domaines les plus importants est l'industrie de l'électronique et de l'information, où cette technologie est largement utilisée dans la fabrication de composants tels que les circuits intégrés, les semi-conducteurs et les dispositifs de stockage d'informations. Dans ces applications, la capacité de produire des films minces avec des propriétés électriques et optiques sur mesure est essentielle. La pulvérisation du magnétron permet un contrôle précis de l'épaisseur du film et de la composition des matériaux, ce qui le rend idéal pour créer des revêtements avec une conductivité spécifique, une transparence ou des propriétés réfléchissantes.
Chez Hongtian Technology Co., Ltd., nous reconnaissons l'importance de l'innovation continue dans des secteurs tels que l'électronique. Nos propres capacités de production, y compris le nouveau parc d'équipement haut de gamme à Jiangsu, nous permettra de continuer à conduire l'innovation dans des domaines comme la fabrication d'électronique, où la précision et la personnalisation des matériaux sont primordiales. Nous nous engageons à développer des solutions de pointe qui intègrent les dernières technologies, y compris la pulvérisation de magnétron, pour fournir à nos clients des produits de haute qualité qui répondent aux demandes des applications modernes.
Une autre application significative est le revêtement en verre, en particulier pour le verre architectural et automobile. Les films minces créés par la pulvérisation de magnétron peuvent améliorer la durabilité, la fonctionnalité et l'apparence des surfaces en verre. Cela comprend les revêtements anti-réfléchissants, la protection des UV et les couches d'isolation thermique. Ces revêtements améliorent non seulement l'attrait esthétique, mais contribuent également à l'efficacité énergétique en réduisant l'absorption de chaleur et en améliorant la force du verre.
En plus des revêtements électroniques et en verre, la pulvérisation du magnétron est également largement utilisée dans le domaine des matériaux résistants à l'usure. Cette technologie permet la création de revêtements durs et durables qui améliorent la résistance à l'usure des composants exposés à des frottements élevés, tels que les pièces automobiles, les machines industrielles et les outils de coupe. La forte résistance à l'adhésion des films minces produits par la pulvérisation magnétron garantit que ces revêtements restent intacts dans des conditions opérationnelles exigeantes, étendant ainsi la durée de vie des composants.